MPC법을 이용한 산화아연계 투명 전도성 스퍼터링 타겟 제조

제목
MPC법을 이용한 산화아연계 투명 전도성 스퍼터링 타겟 제조
저자
SOONGKEUN HYUN
학회명
2013 춘계학술발표대회