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The influence of O2 gas on the etch characteristics of FePt thin films in CH4/O2/Ar gas
- 제목
- The influence of O2 gas on the etch characteristics of FePt thin films in CH4/O2/Ar gas
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제42회 한국진공학회 동계학술대회
- 개최지
- 보광휘닉스파크
- 학회 개최일
- 2012-02-08 ~ 2012-02-10