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Effect of Etching Gas on Magnetic Tunnel Junction Stacks Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching
- 제목
- Effect of Etching Gas on Magnetic Tunnel Junction Stacks Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제23회 한국반도체 학술대회
- 개최지
- 하이원리조트, 정선
- 학회 개최일
- 2016-02-22 ~ 2016-02-24