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Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Copper Thin Films Using Carboxylic Acids
- 제목
- Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Copper Thin Films Using Carboxylic Acids
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제26회 한국반도체 학술대회
- 개최지
- 강원도 웰리힐리파크
- 학회 개최일
- 2019-02-13 ~ 2019-02-15