ZnO nanorod 성장조건 제어를 통한 에너지하베스팅 전기적 특성평가

초록

ZnO는 넓은 밴드갭(3.37 ev)과 높은 결합에너지(60 meV)를 갖는 II-VI족 반도체로서 광촉매, 센서 소자, 태양전지, 나노발전기 등 다양한 분야에서 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 수열합성법을 이용하여 ZnO 압전소자를 제조하고자 하였으며, 이때 용질농도와 ZnO nanorod의 형상관계 및 형상에 따른 전기적 특성을 조사하였다. 시험방법으로는 RF Sputtering을 이용하여 PEN/ITO 필름에 ZnO Seed layer를 증착시킨 후 Zincnitrate와 HMTA(1:1의 비율)가 첨가된 용액에 침지 후 95oC의 분위기에서 3시간 수열합성법을 이용하여 합성하였다. 합성된 ZnO nanorod의 결정성 및 형상 분석은 주사전자현미경(SEM), 회절분석(XRD), Raman spectroscopy 및 투과전자현미경(TEM)를 이용하여 분석하였다. 전기적 특성평가를 위하여 합성된 ZnO nanorod에 전도층 증착시켰다. 전기적 특성은 전류측정장치(Current measurement)를 이용하여 주파수별 전류량을 측정하였다.