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Radio Frequenty Reactive Magnetron Sputtering 방법으로 증착된 ITO 박막에 대한 산소 농도의 영향

제목
Radio Frequenty Reactive Magnetron Sputtering 방법으로 증착된 ITO 박막에 대한 산소 농도의 영향
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2006 한국공업화학회 춘계 정기총회 및 연구논문발표회

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