Translational Andrology and Urology

ISSN
P 2223-4683 E 2223-4691
출판사
AME Publishing Company
국가
CHINA
발행 상태
활성

데이터베이스 수록 정보

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2024
Article

Deep etching of copper thin film using high-density plasma of hydrocarbon/alcohol gases

  • 정지원
  • 하수명
  • 조윤재
  • 윤수영
  • Jong Uk Bae
  • 외 2명
  • 2024-12
  • 반도체디스플레이기술학회지
  • 한국반도체디스플레이기술학회